洁净室等级标准应该如何划分

洁净室等级标准和国际标准ISO14644一样,都是根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试:

空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试;静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试;动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试,洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

二、空态、静态测试

检测前,应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2–3厘米处,可以2~4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。

测试内容:总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;洁净室压力值;层流洁净室断面风速和气流流向;洁净工作区的洁净度;室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;洁净室内噪声。

洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。

三、动态测试。

在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法同空态、静态测试。

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